316L外殼快速進(jìn)氣擴(kuò)散器丨0.003μm管式氣體擴(kuò)散器過濾器
深圳恒歌DF系列316L外殼快速進(jìn)氣擴(kuò)散器，重新定義了半導(dǎo)體制程中真空腔體的放氣標(biāo)準(zhǔn)。這款產(chǎn)品以全316L不銹鋼為結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)，融合快速進(jìn)氣擴(kuò)散與0.003μm精密過濾技術(shù)，在實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)排氣速度的同時(shí)，徹底解決了高速氣流帶來的湍流污染問題，為半導(dǎo)體制造的高效與潔凈提供雙重保障。
產(chǎn)品特點(diǎn)
●?極速進(jìn)氣擴(kuò)散：優(yōu)化流道設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)氣體快速流通，提升腔體放氣效率。
●?316L 全鋼結(jié)構(gòu)：耐高溫、耐高壓且耐腐蝕，適配各類惡劣工藝環(huán)境。
●?納米級(jí)過濾：過濾精度達(dá) 0.003μm，有效攔截超細(xì)微顆粒，保障潔凈度。
●?防湍流技術(shù)：特殊結(jié)構(gòu)引導(dǎo)氣流平穩(wěn)流動(dòng)，避免顆粒揚(yáng)起與硅片損傷。
●?靈活定制：可根據(jù)安裝空間調(diào)整尺寸，適配不同腔體與氣路布局。
| 擴(kuò)散器過濾器技術(shù)參數(shù) | ||||
| 濾芯材質(zhì)?? | ? 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | ? 316L不銹鋼 | |
| 表面處理??? | 內(nèi)表面? Ra ≥32μm | 過濾精度μm | ?≥0.003 可按需定制 | |
| 最大進(jìn)氣壓力? | 4bar | 最大工作壓差?? | 5bar | |
| 最高使用溫度? | ?400°C | 下游潔凈度 | <0.03particles/liter @>0.01ym rated flow |
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應(yīng)用場景
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的高節(jié)拍生產(chǎn)線：在晶圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng)的真空互鎖腔中，實(shí)現(xiàn)快速放氣與進(jìn)氣的高效切換;在光刻設(shè)備的晶圓載臺(tái)腔中，保障氣流穩(wěn)定以提升對(duì)準(zhǔn)精度;在蝕刻機(jī)的批量處理腔中，通過快速排氣縮短工藝周期。同時(shí)適用于半導(dǎo)體設(shè)備制造商的真空腔體測試系統(tǒng)及研發(fā)實(shí)驗(yàn)室的小型真空裝置，為各類快速放氣需求提供定制化解決方案。
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