當(dāng)我們談到氣體過(guò)濾時(shí)，大多數(shù)人首先會(huì)聯(lián)想到半導(dǎo)體。然而，在 光伏、顯示面板和新能源鋰電 領(lǐng)域，對(duì)氣體純度和顆?？刂频囊笸瑯涌量獭?guó)際能源署(IEA)數(shù)據(jù)顯示，全球光伏發(fā)電裝機(jī)容量將在 2030 年突破 5000 GW;而新能源汽車(chē)對(duì)鋰電池的需求持續(xù)增長(zhǎng)，帶動(dòng)了對(duì)高純氣體的大量使用。

這些行業(yè)雖不及 2 nm 芯片工藝那么精細(xì)，但在大面積沉積、封裝、電解質(zhì)處理過(guò)程中，顆粒污染依舊是良率的最大威脅。超高純氣體過(guò)濾器因此成為光伏、顯示和新能源產(chǎn)業(yè)中不可或缺的隱形保障。

一、光伏產(chǎn)業(yè)的過(guò)濾挑戰(zhàn)

1. 大面積沉積的均勻性

在光伏電池生產(chǎn)中，CVD、PECVD 工藝需要大面積均勻沉積薄膜。任何顆粒污染都會(huì)造成薄膜針孔，降低光電轉(zhuǎn)換效率。

2. 高流量供氣需求

單條產(chǎn)線動(dòng)輒數(shù)千 slpm 的氮?dú)?、氬氣需求，?duì)過(guò)濾器的壓降和流量能力提出極高要求。

3. 成本與產(chǎn)能壓力

光伏行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)激烈，過(guò)濾器必須在保證潔凈度的同時(shí)，兼顧低運(yùn)維成本和長(zhǎng)壽命。

解決方案：

恒歌 OF 系列在線式過(guò)濾器：大流量、低壓降設(shè)計(jì)，適合光伏沉積工藝;

恒歌 DF 系列擴(kuò)散器過(guò)濾器：改善氣體分布，提高膜層均勻性。

二、顯示面板產(chǎn)業(yè)的過(guò)濾挑戰(zhàn)

1. IGS 面板系統(tǒng)復(fù)雜

大尺寸 OLED、LCD 面板生產(chǎn)中，氣體分配系統(tǒng)(IGS)包含數(shù)百個(gè)閥門(mén)與接口，顆粒來(lái)源復(fù)雜。

2. 高潔凈度需求

顯示缺陷(點(diǎn)亮異常、暗斑)往往與氣體顆粒直接相關(guān)。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)要求潔凈度達(dá)到 ISO Class 1 水平。

3. 工藝兼容性

既需要 0.003 μm 的過(guò)濾能力，又要兼容多種密封標(biāo)準(zhǔn)(C/W 型)。

解決方案：

恒歌 SF 系列面板過(guò)濾器：專(zhuān)為 IGS 系統(tǒng)設(shè)計(jì)，支持多種密封，適合面板應(yīng)用;

恒歌 MF 系列保護(hù)過(guò)濾器：保障閥門(mén)與質(zhì)量流量控制器(MFC)的壽命。

三、新能源鋰電產(chǎn)業(yè)的過(guò)濾挑戰(zhàn)

1. 電解液與氣氛純度

鋰電池生產(chǎn)中，電解液敏感且易受雜質(zhì)影響，氮?dú)獗Ｗo(hù)必須達(dá)到高純度。顆粒污染會(huì)導(dǎo)致電池內(nèi)部缺陷，縮短壽命。

2. 高壓氫氣與特種氣體應(yīng)用

在新型電池和儲(chǔ)能材料開(kāi)發(fā)中，涉及氫氣、氟化物等高活性氣體，對(duì)過(guò)濾器的抗腐蝕與耐高壓能力要求極高。

3. 安全與可靠性

鋰電工廠強(qiáng)調(diào)安全生產(chǎn)，過(guò)濾器必須具備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行能力，避免頻繁更換。

解決方案：

恒歌 HF 系列高壓過(guò)濾器：耐壓 ≥20 MPa，適合氫能和高壓工況;

恒歌 BF 系列大宗氣體過(guò)濾器：確保氮?dú)庠搭^潔凈，減少電解液污染。

四、分級(jí)過(guò)濾在跨行業(yè)的應(yīng)用邏輯

無(wú)論是光伏、顯示還是新能源鋰電，氣體過(guò)濾的基本邏輯與半導(dǎo)體類(lèi)似：

1. 氣源端(BF 系列)：攔截鋼瓶與氣柜帶入的顆粒;

2. 面板端(SF 系列)：防止閥門(mén)與密封磨損顆粒進(jìn)入主管路;

3. 大流量環(huán)節(jié)(OF 系列)：在高流量下保持低壓降;

4. 終端保護(hù)(MF 系列)：保障儀器與閥門(mén);

5. 工藝入口(DF 系列)：改善分布與均勻性;

6. 高壓應(yīng)用(HF 系列)：滿足氫能與特種氣體需求。

這種 分級(jí)防護(hù)體系，不僅滿足 ISO 與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)，也適用于新能源和光電產(chǎn)業(yè)的潔凈要求。

五、成本與效益分析

光伏：大面積薄膜沉積，缺陷率每下降 0.1%，可提升數(shù)百萬(wàn)片組件的良率;

顯示：一條 8.5 代液晶面板產(chǎn)線，停機(jī) 1 小時(shí)損失超百萬(wàn)元;

新能源：鋰電池良率提升 1%，意味著年產(chǎn)能數(shù) GWh 的工廠增加數(shù)千萬(wàn)元收益。

過(guò)濾器雖小，卻直接決定了產(chǎn)線的產(chǎn)能與良率。采用恒歌金屬燒結(jié)系列過(guò)濾器，可將 TCO(總擁有成本)降低 20%–30%。

六、未來(lái)趨勢(shì)

1. 更高精度：光伏與顯示產(chǎn)業(yè)也將逐步過(guò)渡至 0.003 μm 甚至更高過(guò)濾水平;

2. 更低壓降：滿足更大流量沉積需求;

3. 更強(qiáng)兼容性：多種氣體、多種工藝并行使用;

4. 智能化：通過(guò)傳感器實(shí)現(xiàn)壽命預(yù)測(cè)與壓差監(jiān)測(cè)。

恒歌已在 全金屬燒結(jié)技術(shù)、全系列覆蓋 上為未來(lái)擴(kuò)展做好準(zhǔn)備。

氣體過(guò)濾器不僅是半導(dǎo)體行業(yè)的核心需求，在 光伏、顯示面板和新能源鋰電 產(chǎn)業(yè)中同樣至關(guān)重要。它決定了薄膜均勻性、電池壽命與系統(tǒng)安全性。

恒歌通過(guò) BF、SF、OF、MF、DF、HF 系列的氣體過(guò)濾器，為跨行業(yè)提供 從源頭到終端 的完整氣體過(guò)濾解決方案。面對(duì)光伏、顯示和新能源對(duì)大流量、高壓、超高純的需求，恒歌金屬燒結(jié)過(guò)濾器正逐漸成為行業(yè)主流選擇。

在產(chǎn)業(yè)規(guī)?；统杀緣毫θ找嬖龃蟮谋尘跋?，過(guò)濾器雖小，卻是保障競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵。